展位奖励：大赛对所有入围企业奖励 “2020中国国际微纳制造与传感器展”9平米标准展位1个。

培训奖励：“MEMS制造联盟”培训班入班名额2人，不限培训次数，有效期2年。

流片补贴和洁净房租赁补贴：获得入围奖且赛后成功落户苏州工业园区的企业可获得最高100万元的流片补贴。MEMS产品在苏州工业园区公共平台上进行流片可享受40%价格给予补贴；MEMS企业使用园区内公共开放的高等级洁净房（等级为1000级、100级），经审核后每家企业租金补贴最大不超过100元/月/平方，不超过三年（以具体政策为准）。

大赛为获奖企业提供现金奖励，一等奖100000元，二等奖30000元，三等奖10000元。

每个奖项从10个进入决赛的企业/团队/产品中各评选出一等奖1名，二等奖2名，三等奖3名

针对赛后成功落户苏州工业园区的获奖企业优先推荐“苏州工业园区科技领军人才政策”申报绿色通道。最高可获得1000万元成长奖励、1000万元股权投资、500万元创业启动资金、100万元产业化奖励、500万元三年期贷款支持、50%贴息贷款、购房补贴项目、三年房租减免等多项优惠政策（具体以政策为准）。